|
|
 |
大学院理工学研究科 生産環境工学専攻 プラズマプロジェクト
|
|
准教授 |
|
豊田 洋通
|
|
トヨタ ヒロミチ / TOYOTA Hiromichi |
|
|
|
|
|
|
| 1983-1987 大阪大学工学部精密工学科 卒業 |
| 1987-1989 大阪大学工学研究科精密工学専攻修士課程 修了 |
|
|
|
|
|
|
| 1989/04-2004/03 愛媛大学工学部機械工学科 助手 |
| 2004/04- 愛媛大学工学部機械工学科 助教授 |
|
|
|
|
|
|
| 博士（工学） (2000/04/01 大阪大学
応用物理学一般) |
|
|
|
|
|
|
|
|
液中プラズマ利用技術研究は，愛媛大学工学部，理学部，農学部，総合科学研究支援センターの協力によって，2002年に発足した愛媛大学プロジェクト研究の一つです．液中プラズマとは，高周波や電磁波（マイクロ波）を用いて液体中にプラズマを発生させる技術であり，従来の気相プラズマプロセス技術に変わる手法として研究を進めています．本プラズマ法は，アーク放電に頼らない方法なので，熱に弱い材料への成膜や，成膜速度が非常に速いことが特徴です．本プロジェクトでは，豊田は，プロセス技術開発を担当しており，プラズマ理工学，音響工学，化学工学，熱流体工学，電気工学や電磁波工学などをベースとした学内研究者の共同サポートによって，半導体の高速合成を目的とした研究開発を進めています．液中プラズマによる表面処理は愛媛大学で生まれた新しい技術で，その可能性は国内外で非常に高く評価されています．
(KEYWORD:液中プラズマ，材料加工・処理，プラズマ科学，薄膜・表面界面物性)
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
|
| 精密工学会 (国内) |
| ニューダイヤモンドフォーラム (国内) |
|
|
|
|
| 089-927-9732(外線) 9732(内線) |
|
|
|
|
|
|