Research

「マイクロ波液中プラズマ発生装置」完成報告

本装置は、電子レンジ等に使用されているマグネトロンを利用して開発された、液中プラズマ発生装置です。従来、2.45GHzマイクロ波プラズマの発生には、高価な発振電源と導波管が必要でしたが、マグネトロンと発生電極を一体化する構造とすることで、安価で高出力の液中プラズマ発生装置の開発に成功しました。


販売価格は未定ですが、従来の同出力のマイクロ波電源と比べると、格段に低価格で提供できる予定です。外見と使い勝手を更に修正し、製品化する計画です。


本装置は、2020年度JKA研究補助事業、「汎用型液中プラズマ発生装置の開発補助事業」の支援を受けて開発されました。


卓上型マイクロ波液中プラズマ発生装置


マイクロ波発振部には、電子レンジに搭載されているマグネトロンを利用しています。電源はAC100V、最大出力は600Wです。上部のリアクター部は用途に応じて変更できます。出力電力調整は,入力電圧(70V~100V)で調整できます。このユニット単体で液中プラズマが発生します。




汎用型液中プラズマ発生装置


マイクロ波発振部には、2kW出力のマグネトロンを搭載しています。 3相200V、最大出力は2kWです。大出力のマイクロ波プラズマを、導波管を経由することなく簡単に発生させることができるようになりました。 基本構成は卓上型と同じです。安全面を最重要視し,マグネトロンと電源(下部)は直結しています。マイクロ波の漏洩も工業基準をクリアしております。




プラズマ発生の様子(動画)



卓上型液中プラズマ装置によるダイヤモンド合成実験(動画)

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