蒸気気泡利用：電極または基板を加熱することによって蒸気泡を発生させ，これに高周波
を印加してプラズマを発生．
一度，プラズマが発生すると，何ら気泡を供給する必要はありません．液体中に安定（空
間的，時間的）なプラズマが発生し
ます．
音響気泡利用：超音波を加えることによってキャビテーション気泡を発生させ，これに高
周波を印加してプラズマを発生．
超音波によって発生するキャビテーション気泡は，気泡の内部の温度が5000度以上，圧力
が1000気圧以上になることが知られ
ています．
このような音響気泡を利用して発生させる液中プラズマをソノプラズマと呼んでいます．
ソノプラズマは気泡内部の高温高圧場も反応プロセスとして複合的に利用することが出来
ます．