エネルギーの供給源は,マイクロ波や高周波などであり,特殊な大型装置を用いることなく,室温大気圧中でプラズマを発生させることが可能です.
液中プラズマ化学蒸着装置
HF水中プラズマ装置
連続処理型液中プラズマ反応装置
電子レンジ型小型分解炉